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北京半自动片盒清洗机商家

更新时间:2025-09-25      点击次数:0

产品介绍:

全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。

设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。

配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,

保证制程的高精度清洗需求。

配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。

1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。

2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。

3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。

应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

江苏芯梦为广大客户提供性能优异的高性价比生产设备,助力中国企业升级转型!北京半自动片盒清洗机商家

晶圆盒清洗机包括

FoupCleaner;

Xtrim-FC-M300/400高速型;

FouPCleaner;

Xtrim-FC-H300水平机

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction:

产品介绍:

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;

在清洗机行业超25年经验;

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;

在上海,苏州有完善的服务和销售团队

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;

自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;

SEMI S2认证;


安徽半自动晶圆盒清洗机多少钱芯梦设备具有高精度生产功能,确保产品质量!

在FOUP内去除颗粒物的方法可以采取多种措施,以下是一些常见的方法:喷气清洗:使用压缩空气或氮气等气流,通过喷射到FOUP内部,将颗粒物从FOUP表面吹走。喷气清洗可以通过喷嘴、喷等设备来实现,通常结合定向气流和适当的气流速度,以有效地去除颗粒物。超声波清洗:超声波清洗是一种利用高频声波震动的方法,可以将FOUP内的颗粒物从表面剥离。超声波的震动作用可以在微小的尺度上产生冲击波,从而破坏颗粒物与FOUP表面的附着力,使其脱落。湿拭清洗:湿拭清洗使用湿润的擦拭布或棉签等工具,直接擦拭FOUP的表面,将颗粒物吸附到擦拭物上。这种方法适用于较大或较粘附的颗粒物,可以通过多次擦拭和更换擦拭物来提高清洁效果。静电除尘:由于FOUP的材料通常具有一定的静电特性,可以利用静电除尘技术去除颗粒物。静电除尘通常通过在FOUP内部放置静电除尘装置,利用静电作用将颗粒物吸附到带电的部件上,然后移除这些带电部件以去除颗粒物。过滤器和过滤介质:在FOUP的设计中,可以使用过滤器和过滤介质来阻止颗粒物进入FOUP内部。这些过滤器通常位于FOUP的入口和出口处,以过滤空气中的固体颗粒和其他污染物,从而减少FOUP内的颗粒物数量。

Foup清洗机是半导体制造中不可或缺的设备,用于清洗和处理晶圆载具(Foup)。我们的Foup清洗机采用智能化设计,满足您对生产的多重需求。外观精美,质感上乘,提升生产品质。采用品质材料,使用寿命长,是您的长久伙伴。具有多种智能功能,助您轻松应对生产挑战。操作简单,维护方便,降低使用成本。我们的晶圆盒具有高精度功能,确保生产体验。采用先进的自动化控制技术,提升使用效率。选择我们的Foup清洗机,让您的晶圆生产更加便捷、舒适!江苏芯梦的设备的品质能让你放心购买!

FOUP内的化学物质残留可以采取以下方法进行去除:清洗剂清洗:使用适当的清洗剂进行清洗,以去除FOUP内的化学物质残留。选择与残留物化学性质相匹配的清洗剂,并进行适当的冲洗或浸泡,以将化学物质从FOUP表面去除。溶剂清洗:某些化学物质可以通过溶剂清洗来去除。选择适当的溶剂,根据化学物质的性质进行清洗。溶剂可以帮助溶解和分离化学物质残留,并通过冲洗或浸泡的方式将其去除。氧化处理:一些化学物质残留可以通过氧化处理来去除。例如,使用适当的氧化剂或氧化性清洗剂,如过氧化氢、臭氧等,可以将化学物质氧化为更易去除的形式。洗涤剂清洗:使用专门设计用于去除化学物质残留的洗涤剂进行清洗。这些洗涤剂通常具有针对特定化学物质的配方,可以有效去除化学物质的残留。高温处理:将FOUP加热至较高温度,以促使化学物质残留的挥发或分解。高温处理可以通过热解或蒸发的方式将化学物质残留去除。江苏芯梦设备操作界面友好,易学易用,提升生产效率!安徽半自动晶圆盒清洗机多少钱

选择芯梦设备,让你的生产更加智能化、自动化!北京半自动片盒清洗机商家

5大系统结构:

纯水加热PWH、高压喷淋HPS、热风烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。

25组清洗:

工艺配方ProcessFormula,不同的Cassette灵活设定。

EN18822-H14:

高等级空气过滤系统;超纯水0.1um过滤,CDA0.03um过滤。

4寸~12寸全尺寸兼容,快速实现干进干出,30~60分钟完成1次清洗工艺节拍,更大吞吐量。

2仓2基地:

苏州+上海快速响应备件及现场技术服务寿命管理lifecycleManagement配备RFID数据读取和上传功能+SECSGEM200通讯系统,方便客户的数据管理Cassette使用情况 北京半自动片盒清洗机商家

江苏芯梦半导体设备有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新,勇于进取的无限潜力,江苏芯梦半导体设备供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!

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